高真空油扩散泵
高真空油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-5Pa,工作压力范围为10-1-10-4Pa,抽速速率为1200-35000L/S。油扩散泵是获得10-2—10-5Pa高真空和超高真空的主要设备,广泛用于真空热处理、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
K系列高真空油扩散泵技术参数
Technology parameter of K series high-vacuum oil diffusion pumps
K系列高真空油扩散泵连接尺寸
Connection dimensions of K series high-vacuum oil diffusion pumps